半自動真空低溫探針臺使晶圓和器件在低溫下9k(singleCCR系統)、4.5K(dualCCR系統)甚至低于4K(triple CCR系統)的情況下能夠快速、經濟地進行測試。低溫探針臺，設計用于支持在真空或氣體環境中對高達100mm、150mm或高達300mm的晶圓進行自動動或半自動測試。 系統精度高、成本低、噪音低、使用方便。系統建立在一個振動補償的多功能平臺上，能夠配置來各種測試應用程序。

　　· 可用于高達100mm、150mm和200mm的晶圓測試

　　· 可配置4或6個探針臂。

　　· 還可以選擇探卡進行測試

　　· 顯微鏡選擇包括7:1,12.5:1和16:1數碼變焦顯微鏡

　　· BNC, Triax, DC pin and RF 可選

　　· 用于探針微米級定位的高分辨率探針臂

　　· Isolated, grounded, coaxial or triaxial chuck可選

　　· RF選件包括可定制的RF探頭、RFchunk和屏蔽罩系統

　　· 具有良好的隔振性能