正確使用探針臺可有效提高作業效率，減少誤操作造成樣品和探針耗材的損壞和丟失。本文向您展示如何使用手動探針臺。主要包括如何使用顯微鏡進行觀察和如何使用定位儀將探頭貼在待測點上兩個部分。

　　1.如何正確使用顯微鏡，用顯微鏡觀察待測樣品。

　　(1)打開顯微鏡光源，調整光源亮度。在顯微鏡光斑下移動待測樣品(或待觀察位置)。

　　(2)確保顯微鏡的調焦架在行程的中間，即調焦架的導軌對齊(如下所示)。如果有偏差，可以通過旋轉對焦框的粗調旋鈕來對齊。

　　(3)轉動顯微鏡轉塔，將物鏡切換到最小放大率。如有必要，可先用氣動開關將顯微鏡吊起，再進行切換。

　　“注意”雙手握住炮塔側環旋轉(如下圖箭頭所示)。嚴禁直接拿著物鏡旋轉。

　　(4)旋轉調焦架粗調旋鈕，調節顯微鏡物鏡與樣品之間的距離(向上或向下)。在顯微鏡與樣品對焦的過程中，目鏡(裝有攝像頭和顯示器)可以觀察到樣品的圖像由模糊逐漸變為清晰。

　　“注意”操作粗調旋鈕時，注意樣品與物鏡的距離，防止樣品與待測樣品碰撞損壞物鏡。

　　如果物鏡與樣品之間的距離小于10mm，停止并向相反方向調整距離。

　　(5)轉動顯微鏡轉塔，切換到靶放大倍數，調整對焦框高度，完成操作，直至樣品成像清晰。

　　(6)大功率操作時，可利用對焦架微調旋鈕輔助調節顯微鏡高度，用顯微鏡對樣品進行對焦。

　　“注意”如果對焦框處于極限行程位置，嚴禁使用微調旋鈕，否則可能會對對焦框造成嚴重損壞。此時使用粗調旋鈕，反方向操作。

　　2.如何將探頭連接到待測點

　　(1)在顯微鏡最小多物鏡下找到待測點(或位置附近)，使待測點成像清晰。

　　(2)確認定位器XYZ三軸中間行程位置(即各軸導軌端面螺釘對齊)。Z軸也可以向上略微交錯約3mm。

　　(3)安裝并調整探頭高度，觀察探頭與樣品臺(或樣品)的距離(約5mm，或略小于5mm)。

　　(可以通過調整探針臂或探針臂適配器的高度來進行粗略定位。)

　　(4)移動定位器使顯微鏡光斑下的所有探針移動。此時，通過目鏡觀察可以看到探頭的虛影(探頭成像未物化)。

　　(5)操作定位儀XYZ旋鈕，將探頭定位在待測點上方。此時可以調整Z軸，使探頭盡可能靠近待測點，但不要將探頭貼在待測點上(探頭未物化)。

　　(6)向上轉動顯微鏡氣動升降開關，將顯微鏡升降至最高，再切換至靶倍率。把開關關小，使顯微鏡恢復到原來的位置。

　　“注意”在顯微鏡緩慢下降過程中，如觀察到物鏡與周圍附件發生干涉，應立即拉起開關，將顯微鏡抬起。排除干擾后復位顯微鏡。

　　(7)操作XYZ定位旋鈕，使測頭準確定位在待測點上方。慢慢調整Z軸，慢慢降低探頭。探針兩側虛影與針尖重疊時，探針即接觸樣品待測點。為確保良好的接觸，可略微過壓探針，觀察到探針略向前移動即停止。