利用探針臺進行半導體表征參數的測量，離不開測試探針的使用目前有四種類型的探針：普通DC探針、同軸DC探針、有源探針和微波探針。在使用的過程中，探針表面有可能會沾上灰塵或者樣品上的氧化層，繼續使用可能會影響測試數據的可靠性。但報廢的話，特別是微波探針，將大大增加用戶耗材成本。在此，我們教大家三個方法，可輕松去除探針上的“頑漬”，延長探針耗材的使用壽命。

　　1、毛刷清潔法

　　適用范圍：5微米以上探針，微波探針。不適用于針尖直徑在5微米以下的軟針。

　　拿一張A4白紙，撕成細長條的形狀，最好是撕成細長的三角形形狀(大概5cm高左右)。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡下(體視顯微鏡即可，放大倍數太高無法操作)，利用撕下的紙片尖端作為毛刷，輕輕地將探針尖端的沾污物刷下。

　　2、壓針清潔法

　　適用范圍：所有探針，灰塵比較靠近探針尖端的情況。

　　拿一張A4白紙，裁成樣品臺大小(或適當的尺寸)，固定于樣品臺上。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡下，慢慢下壓探針，待探針接觸到白紙后，向后移動探針，如下圖所示方向。多嘗試幾次走到探針上的灰塵脫落。

　　3、超聲清潔法

　　適用范圍：所有探針。

　　取適量的蒸餾水置于燒杯內(燒杯大小以適合用戶操作為宜)，并放到超聲波清洗機內。打開超聲波清洗機，然后手捏住探針(注意戴丁腈手套)，將針尖放入蒸餾水內，讓震動把灰塵震落，可以隔一兩分鐘用顯微鏡觀察一次，直到灰塵掉落為止。將探針放到適當的位置晾干后即可使用。請注意，若清潔微波探針，須將探針放置整晚晾干。