隨著現代科技的發展,出現了探針臺,如手動探針臺、高低溫探針臺、晶圓探針臺,本文主要介紹手動探針臺。手動探針臺已得到廣泛應用,主要應用于半導體、微電子、光電子、太陽能等領域,但是有的人并不了解它,還不知道手動探針臺怎么使用,下面我來給大家介紹一下。
它的使用主要分為六個步驟,分別為:
1、將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關,使樣品牢固地吸附在卡盤上。
2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。
4、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中間。
5、待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進行下針,然后則使用X軸旋鈕左右滑動,觀察是否有少許劃痕,證明是否已經接觸。
6、確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設備開始測試。
以上就是如何使用手動探針臺,希望以上的內容能夠對大家有所幫助,如果還有什么不了解的,請大家多多關注我們網絡平臺,我們會發布更多資訊給大家。