手動探針臺是電子測試領域中一種重要的設備，用于對半導體芯片、集成電路、微電子器件等微觀結構進行機械操作和電學測量。下面將介紹手動探針臺的基本概念、工作原理、使用方法、校準和維護等方面的內容。

　　一、手動探針臺的基本概念

　　手動探針臺也稱為手動探針顯微鏡或手動探針測試臺，它主要由顯微鏡、X-Y-Z 手動操作臺、探針座、樣品臺等組成。手動探針臺主要用于在微觀尺度上對電子元件和電路進行測量和檢查，如電壓降、電阻、電容、電感、電流、頻率等參數。

　　二、手動探針臺的工作原理

　　手動探針臺的工作原理主要是通過手動操作X-Y-Z 三個方向的移動，使探針對準待測物，并通過顯微鏡觀察和校準位置，確保測量準確可靠。手動探針臺具有高精度的機械運動系統，能夠實現納米級別的精度。

　　三、手動探針臺的使用方法

　　使用手動探針臺需要以下步驟：

　　1. 將待測樣品放置在樣品臺上，并確定待測區域。

　　2. 通過顯微鏡觀察待測區域，并進行初步的校準和調整，使待測區域清晰可見。

　　3. 根據需要更換不同的探針，并根據探針類型和所要測量的參數進行調整。

　　4. 手動操作X-Y-Z 三個方向的移動，使探針對準待測物。

　　5. 進行測量并記錄數據。

　　6. 測試結束后，將探針及樣品恢復原狀，以備下次使用。

　　四、手動探針臺的校準和維護

　　為了保證手動探針臺的測量準確性和穩定性，須進行定期的校準和維護。一般而言，校準主要包括機械系統的校準和電氣系統的校準。機械系統的校準主要是檢查機械運動是否順暢，各軸是否有偏移或誤差，以及各部件連接處是否有松動或磨損等現象。電氣系統的校準主要包括光柵尺和編碼器的校準，以確保運動精度和位置精度。維護方面主要是保持設備清潔和干燥，避免潮濕和污染，以及定期更換磨損部件等。