探針臺是半導體行業最重要的測試設備之一，廣泛應用于復雜高速器件的精密電氣測量，以確保質量和可靠性，減少開發時間和器件制造過程成本。

　　根據生產工藝的不同，半導體測試可分為驗證測試、晶圓測試和封裝測試三類。探針臺主要用于晶圓制造過程中的晶圓檢測、芯片開發和錯誤分析。除了探針臺，晶圓檢測過程還需要使用測試儀/機器，測試儀/機器用于檢測芯片的功能和性能，探針臺實現被測芯片與測試儀的連接 ?通過探針臺和測試儀可以對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數測試或射頻測試，可以對芯片的好壞產品進行分類。

　　探針臺由哪些部分組成?

　　1.樣品臺(載物臺)

　　平臺是定位晶圓或芯片的組件設備。晶圓的尺寸通常根據晶圓的大小進行設計，并調整相應的精準移動定位功能。

　　2.光學元件

　　這部分的目的是在視覺上放大被測物體，以將探針尖端精確對準并放置在被測晶片/芯片的測量點上。

　　3.卡盤

　　對于非常平坦的金屬表面，卡盤使用夾具來固定被測物體或使用真空來固定晶圓。

　　探針臺是如何工作的?

　　探針臺可以夾持晶圓或芯片，準確定位被測物體。手動探針臺用戶將探針臂和探針安裝到機械手中，并使用顯微鏡將探針尖端放置在要檢查的物體上的正確位置。一旦所有探頭尖端都設置在正確的位置，就可以測試 DUT。

　　對于多芯片晶圓，用戶可以抬起將探針頭與芯片分離的板，然后將平臺移動到下一個芯片，使用顯微鏡找到確切位置，然后放下板?？梢詼y試一個芯片。半自動化和全自動井站系統使用機械化工作臺和計算機視覺來自動化這一移動過程并提高井站生產力。

　　探針臺的作用是什么?

　　探針臺可以在硅片上放置電探針、光學探針或射頻探針，以便與測試儀器/半導體測試系統配合測試芯片/半導體器件。

　　晶圓檢測是半導體制造中必不可少的步驟，選擇合適的晶圓檢測臺和探針進行晶圓檢測也很重要。