一、探頭站操作步驟:
1.將測試品放在探針臺的桌板上;
2.打開顯微鏡光源燈(LED或光源機);
3.打開背光面板的光源開關;
4.調整Z axis高度對焦,使能清楚看到樣品圖象為OK;
5.調整目鏡和變焦倍率,使圖像清晰;
二、進針操作步驟:
1.通過移動鏡頭組找到Sample想要鋪針的地方;
2.調整針座位置,三軸歸零;
3.調整針座升降機構,使針尖位于顯微鏡發出光斑中心上方1-2mm;
4.用低倍鏡找到針尖,通過調整焦距將針尖移至視野中心并使針尖*清晰;
6.切換到高倍鏡,找到針尖;
7.利用針座X-Y-Z軸對針進行微調;
8.測量完成后,逆時針旋轉針座升降機構旋鈕,快速向上提針,即可將針尖從樣品上取下;移動持針平臺或顯微鏡相關移動機構時,請注意避免與鏡片或被測物碰撞
9.拆下針座,取出樣品。
10.關閉背光面板光源和光源燈的電源。