產品摘要
在實際得科研生產中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試的探針臺相當昂貴，我司根據客戶市場應用自主研發的這款結構小巧，功能實用，成本較低的簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎上，去除了非必要得部件，該探針臺系統包含：顯微鏡位移裝置，探針測試系統，探針臺臺體，顯微成像系統，高精度樣品臺；
創譜儀器可以根據客戶應用搭建探針臺，以達到更好得使用效果和性價比。
技術特點
◆兩邊半圓形探針架，可以放置最多6個探針座，且方便放置探針卡集成4路吸附開關，方便吸附
◆可用于12寸以內樣品測試XY行程115mmX115mm，Z軸調節10mm，360°旋轉粗調+士5°精調
◆1微米以上電極/PAD使用
◆可用于硅封裝的內部觀測和光譜特性分析，需要紅外光源和紅外攝像機
◆有效像素2000萬，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照錄像，也可以連接電腦
◆HDMI輸出支持: 1280*1024 (默認)、1680X1050、1440*900
◆選用2X，5X，10X,20X，50X四種物鏡,工作距離分別是: 34.6mm，45mm，34mm;30.8mm，20.5mm，鼻輪支架帶五孔鼻輪
◆集成高精度高穩定性手動位移臺,XYZ行程50mm，精度lum
◆整體交叉滾珠導軌，超高精度，超高穩定性
◆模塊化設計，調節精度 3 微米，可調磁性吸附固定
◆最大電壓 1400V，阻抗 50 歐姆XYZ 軸行程分別是 13mm行程
◆位移放置:XYZR四軸調節XY行程115X115mm，Z軸調節10mm，360°旋轉粗調+士5°精調
◆整體位移精度lum,(根據客戶要求定制生產)
◆多被用于晶圓測試、LED測試、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、太陽能電池片測試、材料表面電阻率測試等；
功能組件
規格參數
型號 | PH-4 | PH-6 | PH-8 | PH-12 | |
電力需求 | 220VC,50-60HZ | ||||
樣
品
臺 | 尺寸 | 4寸 | 6寸 | 8寸 | 12寸 |
行程 | XY行程115mm×115mm，Z軸升降10mm，360°粗調±5°精調 | ||||
移動精度 | 1μm | ||||
背電極測試功能 | 可以引出背電極 | 可以引出背電極 | 可以引出背電極 | 可以引出背電極 | |
真空吸附 | 進口無油真空泵，7L/min | ||||
樣品固定方式 | 環形真空吸附 | ||||
定制模塊 | 定制位移行程和精度、定制樣品盤材質/鍍金、定制背光等 | ||||
探 針 調 整 座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | |||
機械精度 | 標配3μm，可升級（1μm、電動） | ||||
漏電精度 | 10pA（同軸線纜）、100fA(三同軸線纜) | ||||
安裝方式 | 可調磁力吸附/真空吸附/螺絲固定安裝 | ||||
接口形式 | 香蕉插頭/鱷魚夾/同軸BNC/三同軸 TRB | ||||
光 學 成 像 | 成像方式 | 電子顯微鏡/雙目體式顯微鏡/金相顯微鏡/單筒金相顯微鏡/激光顯微鏡 | |||
放大倍數 | 7-200倍（最大可升級到1000倍） | ||||
CCD像素 | 2000W高清 | ||||
中心距離 | 140mm，升降范圍270mm，總高度350mm | ||||
顯微鏡移動 | XY行程25mm/50mm，分辨率1μm | ||||
顯示器 | 12寸/24寸高清顯示器，分辨率1μm | ||||
可選附件 | 加熱吸附卡盤 | 氣浮隔振平臺 | 鍍金卡盤 | ||
光電流Mapping測試 | 積分球測試附件（LIV） | 屏蔽箱 | |||
射頻測試附件 | 導入光源支架 | 波長單色可調光纖光源 | |||
顯微鏡調節手動/電動調節裝置 | 激光切割顯微鏡 | 升級光電測試系統 | |||
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