CPPT-QA型氣浮光學隔振平臺

產品摘要

當外界振動源或者負載發生變化時，為了保持良好的隔振效果，通?？梢酝ㄟ^改變空氣壓力和改變空氣彈簧的行程來實現；改變空氣壓力通過氣浮支架的油水分離器來實現，改變空氣彈簧行程通過氣浮支架的高度調節螺桿來實現。

創譜儀器精密氣浮隔振平臺根據臺面的不同，分為鐵磁不銹鋼臺面氣浮隔振平臺和大理石精密氣浮隔振平臺。

技術特點

◆臺面整體采用三層夾心結構，上臺面為410鐵磁不銹鋼，中心為蜂窩/井字鋼支撐結構，底板為碳鋼，在保證隔振性能得同時，提高了剛性、穩定性，臺面精磨

◆氣浮支架采用囊式空氣彈簧，每個支撐腿配備由單獨氣室，采用整體焊接四支撐結構，下方為阻尼隔振墊，隔振性能好

◆氣浮支架底部帶有高度調節功能，可以解決地面不平引起的支架扭曲、變形等情況

◆采用原裝德國FESTO空氣伺服系統, 自動調整水平,臺面的高度由空氣調節閥在桌面運動的激勵下維持和控制，把系統對微振的響應反饋到系統中, 改變隔振特性,當負載沿工作表面移動或發生突然變化時能夠使臺面自動維持水平.瞬間達到初始的平衡狀態,提高光學隔振平臺的隔振效果

◆標配靜音空氣壓縮機，工作壓力為0.35～0.6Mpa，標準配置調壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作

◆水平方式：自動充氣，自動平衡

◆隔振方式：囊式空氣彈簧

◆平面度：≤0.03mm/600mm×600mm

◆固有頻率：垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz

◆振幅：≤1.2μm

◆重復定位精度：±0.05mm

◆臺面厚度：100/200/300mm

產品應用

◆顯微鏡系統 ◆激光測試 ◆光學制造 ◆光電儀器研發與測試 ◆生物醫療 ◆精密機械制造 ◆精密化工和無損檢測 ◆激光干涉 ◆全息曝光 ◆集成電子電路 ◆拉曼光譜實驗 ◆精密檢測校準 ◆對振動要求極高的儀器設備

規格參數