利用探針臺測量半導體表征參數離不開測試探針的使用。提供四種類型的探針：普通直流探針，同軸直流探針，有源探針和微波探針。在使用過程中，探針表面可能會沾上樣品上的灰塵或氧化層，繼續使用可能會影響測試數據的可靠性。但如果報廢，尤其是微波探頭，將大大增加用戶的耗材成本。在此，我們教大家三種方法，輕松去除探頭上的“頑固污漬”，延長探頭耗材的使用壽命。

　　1.刷子清洗法

　　適用范圍：5微米以上探頭及微波探頭。不適用于針尖直徑在5微米以下的軟針。

　　取一張A4白紙撕成細長的條狀，最好撕成細長的三角形(約5cm高)。將待清洗的探頭安裝在探頭夾具上，置于顯微鏡下(立體顯微鏡即可，放大倍數太高無法操作)，用撕破的紙尖當刷子，輕輕刷去探頭尖上的污垢。

　　2.壓針清洗法

　　適用范圍：關鍵因素的所有探針，當灰塵接近探針尖端時。

　　取一張A4白紙，剪成樣品臺大小(或適當大小)，固定在樣品臺上。將待清洗的探頭安裝在探頭夾具上，放置在顯微鏡下。慢慢按探頭。探針接觸白紙后，按下圖所示的方向向后移動探針。試著走到探頭幾次，灰塵就掉下來了。

　　3.超聲波清洗法

　　適用范圍：所有探針。

　　將適量蒸餾水放入燒杯(燒杯大小適合用戶操作)，放入超聲波清洗機。打開超聲波清洗機，然后將探頭握在手中(注意戴丁腈手套)，將針尖放入蒸餾水中，讓震動抖掉灰塵。你可以每隔一兩分鐘用顯微鏡觀察一次，直到塵埃落下。把探頭在適當位置晾干后再使用。請注意，如果微波探頭被清洗，探頭必須讓它整晚晾干。