3微米多功能探針座（高款）

產品摘要

主體材質采用航空鋁合金，表面噴砂氧化，良好的機械性能，高強度，耐磨

位移部分采用進口交叉滾珠導軌，超高穩定性

整體驅動采用進口高分辨率微分頭，提高整體位移精度

匹配多功能調節夾具，可以180°旋轉+精密60°定向傾斜，適用于在顯微鏡下定向調節探針，不阻擋視野

底部超強可調磁性底座，可以通過旋鈕調節磁力的有無，磁性吸附10Kg，保證了扎針穩定性

可以升級真空吸附，搭配真空泵，7L/min

技術特點

★探針位移行程：XYZ三維分別13mm+180°旋轉+精密60°角度傾斜（可鎖緊）

★整體結構外形尺寸：230mm×82mm×102mm（LWH）

★探針位移精度：3μm

★漏電精度：同軸線纜（10pA）

                    進口三同軸線纜（100fA）

★可選接頭：同軸線纜可選擇BNC、鱷魚夾、香蕉插頭、N型、SMA等

                    進口三同軸線纜可選擇三同軸接口(Triaxial)

★測量范圍：電流：10pA/100fA-10A

                    電壓：≤1400V

產品應用

適用于R/F量測、I/O點量測、直流DC測試 、晶圓測試、電阻電壓測試、太陽能電池測試、光電流測試、半導體器件分析測試等

功能組件