TDR系列高溫（加熱）探針臺

產品摘要

TDR系列探針臺包括探針臺面板，探針架，高精度探針定位器，恒溫樣品臺，樣品位移系統，顯微成像系統等組成，模塊化設計，后期方便升級滿足不同應用要求

技術特點

◆最大可用于12寸以內樣品測試

◆探針臺整體位移分辨率3μm，樣品XYZR四維調節

◆兼容多種光學顯微鏡，可以引入光路，完成光電mapping測試

◆探針采用進口交叉滾珠導軌，線性移動，無回程差設計

◆PID控溫，可加熱至300℃，控溫精度±1℃，有效區域溫度均勻性±5℃

◆1微米以上電極/PAD使用

◆加寬探針架，可以放置6個DC探針座/4個RF探針座

◆全系列搭配顯微鏡XY精密移動功能，可以選配多種位移行程以及驅動形式

產品應用

多被用于科研院校搭建測試系統，例：材料電學測試系統、光電探測器光電響應系統、光電Mapping測試系統、憶阻器與神經元系統等

功能組件

規格參數