CPPS-ZK系列高低溫真空探針臺

高低溫真空探針臺標準詳細配置清單

 設備名稱

  詳細配置清單本色

 真空腔體

 CPPS-ZK-401

?直徑8英寸，高度7英寸的304材質真空室
?上蓋帶4英寸石英觀察窗
?下法蘭帶固定端，與光學平臺連接
?直徑為4英寸的紫銅材質樣品臺，平整度5微米
?1個KF40抽真空排氣口，3個CF16充氣口，1個KF16電阻規接口，1個KF16放氣口，1個KF40預留接口，1個DN63 BNC真空貫穿接口，2個冷卻液接口，4個探針座接口,2個電源接口

1套

 探針調整座

 CPPS-ZK-402

?位移方向XYZ三軸,采用交叉滾柱導軌,產品定向性能穩定
?采用精密研磨絲桿M3*0.5分辨率高，配合做大手輪
?行程：X軸40mm，Y軸40mm，Z軸40mm
?分辨率3微米，重復定位精度±2微米，單軸直線度±2微米
?自重1.5Kg，負載5.5Kg
?三同軸探針夾具  漏電精度100fA，接三同軸公接口，陶瓷結構
?探針臂，采用304不銹鋼光軸，保證水平的準直度和剛性
?探針臂移動真空密封裝置，配置可壓縮50mm的焊接波紋管，保證壽命可靠運行100萬次

4套

 氣浮平臺

 CPPS-ZK-403

?創譜光學隔振平臺專門設計的水平減震機構，隔振基礎采用二層氣囊隔離，空氣隔離器利用空氣阻尼技術在各個方向上都提供了優異的減振性能，減振器自身的自然振動頻率非常低，防止由瞬變干擾產生的搖擺

?穩定輕松調節，穩定可靠結構十分緊湊
?平面度＜0.10mm/m 2
?固有頻率垂直1.2Hz～1.8Hz,水平1.2Hz～1.8Hz
?振幅＜1.2um  
?重復定位精度±0.05mm

1套

 顯微控制系統CPPS-ZK-404

?配CCD采用USB連接電腦，分辨率2um ，500萬像素
?控溫系統采用日本島電溫控儀表配置固態繼電器、熱電偶形成閉環PID控溫和自整定調節，智能化30段可編程控制，控溫精準可達到±1℃，顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃
?最高溫度600℃，最低溫度-142℃
?高溫部件構成及低溫部件構成   

1套

 真空獲得系統CPPS-ZK-405

?抽真空機械泵采用中韓合資型號TRP-36，9L/s抽速，自帶防返油閥門，KF25接口，KF25排氣口，配有油霧過濾器。極限真空度優于5Pa
?配置KF40手動真空擋板閥，波紋管密封，性能  可靠，外觀大氣，手感好；放氣閥配置KF16手動放氣閥，體積小巧，性能可靠；所有真空管道采用不銹鋼液壓波紋管，具備很好的柔韌度，消除機械泵震動所帶給探針臺的影響。  
?真空測量配置國產成都睿寶電阻真空計，安裝1個全金屬KF16電阻規

1套

配件

密封件1套，3微米針尖鎢鋼探針20支，探針臂陶瓷件2個等