產品摘要
高溫真空腔探針臺系統主要用于為被測芯片提供一個高溫的變溫測量環境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化
腔體內被測芯片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結果誤差
我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置
整體高集成，高穩定性，高漏電精度，高性價比！
創譜儀器可以根據客戶應用搭建探針臺，以達到更好得使用效果和性價比！
技術特點
★真空獲得方式：機械泵抽真空
★樣品盤加熱溫度：最高300℃，溫控精度±1℃
★測試漏電流精度：100fA
★探針調節精度：10μm（也可選擇0.5μm，3μm，1μm精度）
★適用于樣品尺寸：低于4英寸
產品應用
晶圓/半導體材料氣敏測試，IV,CV,PIV測試，高溫無氧化測試等
規格參數
CPPSSZ系列真空加熱探針臺配置單 | |
真空腔
| 尺寸320×230×210mm，材質優質鋁合金，內表面電解拋光，外表面陽極氧化本色 |
上蓋40直徑石英觀察窗，可開啟，下表面可以和光學平臺直接連接 | |
配有多個接口，2個KF16,4個KF25,一個備用充氣口，一個旋轉控制閥門，一個放氣閥門口 | |
溫控樣品盤 | 尺寸4英寸，鋁合金材質，平面度5微米 |
溫控儀采用日本島電溫控器，顯示精度0.1℃，溫控精度±1℃，最高可達300℃ | |
探針座 | 10μm三維調節，可調磁力底座，萬向調節夾具，配備美國進口愛默生線和進口三同軸接口 |
真空獲得以及測量系統 | 采用成都睿寶真空計，安裝1個全金屬電阻規 |
真空泵選擇合資機械泵，抽速6L/秒 | |
顯微鏡系統 | 放大倍數7-180倍無級調節，500萬像素，搭配8寸顯示器，匹配萬向調節架和升降臺，可以無級調節 |
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