ZH系列組合式探針臺

產品摘要

在實際得科研生產中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試的探針臺相當昂貴，我司根據客戶市場應用自主研發的這款結構小巧，功能實用，成本較低的簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎上，去除了非必要得部件，該探針臺系統包含：光學成像部分，隔振平臺，探針座，四維調整載片臺（Chuck），真空吸附系統；    

創譜儀器可以根據客戶應用搭建探針臺，以達到更好得使用效果和性價比。

技術特點

◆結構緊湊，功能實用，高性價比

◆可用于12寸以內樣品測試    

◆1微米以上電極/PAD使用

◆兼容高倍率電子顯微鏡/體式顯微鏡，可360°旋轉和微調升降

◆漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內）

◆精密絲杠/燕尾傳動結構，線性移動，無回程差設計

◆應用于高等院校/研究所/公司實驗室使用

◆模塊化設計，可以根據應用增加和去除相應模塊

產品應用

多被用于晶圓測試、LED測試、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、太陽能電池片測試、材料表面電阻率測試等；

規格參數

功能組件