TDH系列高精度探針臺

產品摘要

在實際得科研生產中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試的探針臺相當昂貴，我司根據客戶市場應用自主研發的這款結構小巧，功能實用，成本較低的簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎上，去除了非必要得部件，該探針臺系統包含：光學成像部分，隔振平臺，探針座，四維調整載片臺（Chuck），真空吸附系統；    

創譜儀器可以根據客戶應用搭建探針臺，以達到更好得使用效果和性價比。

技術特點

◆模塊化設計，可以搭建不同構件完成不同測試

◆探針臺整體位移分辨率3μm，樣品XYZR四維調節    

◆兼容多種光學顯微鏡，可以引入光路，完成光電mapping測試

◆兼容高倍率電子顯微鏡/體式顯微鏡，可360°旋轉和微調升降

◆漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內）

◆探針采用進口交叉滾珠導軌，線性移動，無回程差設計

◆1微米以上電極/PAD使用

◆加寬探針架，可以放置6個DC探針座/4個RF探針座

◆全系列搭配顯微鏡XY精密移動功能，可以選配多種位移行程以及驅動形式

產品應用

多被用于科研院校搭建測試系統，例：材料電學測試系統、光電探測器光電響應系統、光電Mapping測試系統、憶阻器與神經元系統等等

規格參數